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昭和電工マテリアルズ、半導体研磨材料の生産能力と評価機能を増強へ
昭和電工マテリアルズは、半導体回路平坦化用研磨材料「CMPスラリー」の生産能力と評価機能を増強すると発表した。また、山崎事業所、同事業所の勝田サイトおよび台湾の連結子会社Showa Denko Semiconductor Materials (Taiwan) Co., Ltd.(SDSMT)で、工場の新設や生産・評価設備の導入を行う。総投資額は約200億円。今回の能力増強により、同社グループにおけるCMPスラリーの生産能力は約20%....
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