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日立製作所は、トランジスターの一種であるSi-MOSFETの特性を利用した高性能水素センサーを開発。センサー部分(ゲート)に、白金(Pt)とチタン(Ti)の薄膜積層構造を用いた小型水素センサーで、濃度1000ppm以上の水素を約1秒で検知可能という。熱や湿度にも強く、また、現在普及している半導体製造装置で生産できる点などが特長。水素自動車などに搭載可能な小型・低消費電力水素センサーの製品化などにつながる技術として期待できるとしている....
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