0.1ミリ以下の極薄な切断砥石による微小な切断力を正確に測定！ダイシング加工時の切断抵抗測定
2015/01/07 公開

概要

半導体用途のシリコンウェハを回路が描かれたICの基板などとして用いるためにはサイコロ状に小さく切断（ダイシング）する必要があります。
切断には専用の極薄切断砥石を用い、高速で加工します。シリコンウェハを効率よくサイコロ状に切断するための加工条件、使用する切断砥石の選定、高能率な専用機の選定等、これらを決定するための指標として切断時の加工力を把握することが重要です。小型・高剛性な水晶圧電式小型切削動力計9119Aはシリコンウェハの切断抵抗測定に最も適した測定器です。
概要
概要

特徴

◆メリット1 極薄砥石加工時における切断力の把握

高感度な水晶圧電式3成分力センサを内蔵した多成分小型切削動力計は、0.1ミリ以下の極薄な切断砥石による微小な切断力を正確に測定できます。

◆メリット2 高速加工条件に順応

高剛性な多成分小型切削動力計は、ダイシング加工の特長である高速加工に順応し、切断砥石に発生する微小な抵抗や負荷変動を的確に捉えることで、切断砥石や専用機の特性把握を可能にします。

◆メリット3 ダイシング加工の最適化に貢献

切断加工状況を把握した結果を指標としてダイシング加工に必要な要件選定（加工用砥石、加工条件、加工機）ができるため、加工の最適化に貢献します。
特徴

用途・実績

◆用途
シリコンウェハ等のダイシング加工時の切断抵抗測定

◆実績
世界中の自動車メーカー、自動車部品メーカーで使用されています。

その他価格等自由記入欄

◆◆◆この用途におすすめのセンサ◆◆◆

小型多成分切削動力計　型式9119AA

会社情報

会社名

日本キスラー合同会社

会社ホームページ

  https://www.kistler.com/

会社PR

キスラー（Kistler Group：本社スイス、日本法人：日本キスラー合同会社）は、1959年の創業以来、圧力、力、トルク、加速度を測定する動的計測技術の世界的リーディングカンパニーで、特に計測システムのコアとなる圧電式センサ技術は広く知られるところである。加えて、これらの技術を活用した電動サーボプレスシステムの開発にも取り組んでおり、自動車産業を始めとした産業オートメーション市場を中心に数多くの実績を持ち、小型電動サーボプレスでは世界トップクラスの販売シェアを誇る。