マルチアークPVD装置
概要
日新電機株式会社は、1984年からアーク式PVD装置の開発・製造・販売を行っております。当社装置では、スムースコーティング技術によってドロップレット(*1)を大幅に低減できることが大きな特長です。近年急速に拡大しつつある自動車部品・工具・金型などへのコーティング適用にお応えし、性能向上に貢献しております。 また、海外では受託コーティングサービス事業も行っており、タイ(バンコク近郊)に加えて、2005年6月より中国 (江蘇省 無錫市)での操業を予定しています。 (*1)ドロップレット 陰極の金属が蒸発・イオン化する時に放出される、直径数?数十μmの金属粒子
http://www.nissin.co.jp/product/08/0101_index.html
http://www.nissin.co.jp/product/08/0101_index.html

特徴
<特徴説明>
●スムースコーティング
ドロップレット発生を抑え、皮膜の平滑性・耐摩耗性・摺動性等が飛躍的に向上
●高生産性
成膜速度が速く、大面積処理が可能で、生産コストが安い
●新素材形成
合金膜、積層膜、傾斜膜の形成が容易
●イージーメンテナンス
蒸発源の交換、防着板・ヒーターの脱着が容易
●簡単操作
ボタン一つで全自動処理が可能
●データ管理機能
成膜条件、運転記録などをデータベース化して保存可能
<装置の仕組み>
表面に膜をつけたい基材を真空容器に入れて真空状態にし、膜の材料となる金属表面に真空アーク放電を発生させ、材料金属を蒸発させて基材にコーティングします。
その時にたとえばチッ素ガスを入れておけば、金属のチッ化セラミックス膜ができます。
●スムースコーティング
ドロップレット発生を抑え、皮膜の平滑性・耐摩耗性・摺動性等が飛躍的に向上
●高生産性
成膜速度が速く、大面積処理が可能で、生産コストが安い
●新素材形成
合金膜、積層膜、傾斜膜の形成が容易
●イージーメンテナンス
蒸発源の交換、防着板・ヒーターの脱着が容易
●簡単操作
ボタン一つで全自動処理が可能
●データ管理機能
成膜条件、運転記録などをデータベース化して保存可能
<装置の仕組み>
表面に膜をつけたい基材を真空容器に入れて真空状態にし、膜の材料となる金属表面に真空アーク放電を発生させ、材料金属を蒸発させて基材にコーティングします。
その時にたとえばチッ素ガスを入れておけば、金属のチッ化セラミックス膜ができます。
用途・実績
◆用途
◆研究用の小形機から量産用の大形機まで、また、その他特別仕様にも対応できます。
・切削工具の寿命向上
・金型の寿命や離型性向上
・機械部品の摩耗低減
・摺動部品の摩擦抵抗低減
・装飾用途 ・・・ など
◆実績
・自動車部品
・切削工具
・金型
・機械部品等
◆研究用の小形機から量産用の大形機まで、また、その他特別仕様にも対応できます。
・切削工具の寿命向上
・金型の寿命や離型性向上
・機械部品の摩耗低減
・摺動部品の摩擦抵抗低減
・装飾用途 ・・・ など
◆実績
・自動車部品
・切削工具
・金型
・機械部品等
会社情報
会社名
日新電機株式会社